溫度的升高增強了拋光液的化學反應能力，提高了拋光速率。但是溫度太高會引起拋光液體的揮發和化學反應的加速將導致嚴重的表面腐蝕，這將產生不均勻的拋光效果并降低拋光質量下降。

拋光液對拋光工藝的影響

1.溫度：溫度的升高增強了拋光液的化學反應能力，提高了拋光速率。但是溫度太高會引起拋光液體的揮發和化學反應的加速將導致嚴重的表面腐蝕，這將產生不均勻的拋光效果并降低拋光質量下降。

2.pH值：拋光液的pH值越高，堿度越強，反應速度越快。 但是，pH值是溶液和溶解度以及拋光液的穩定性有很大的影響，影響材料的去除率和表面質量，因此應嚴格控制。

3.壓力：通常，壓力越高，拋光速度越快。 然而，當壓力足夠高時，拋光速率將略微降低。由于高壓，拋光墊承載拋光液的能力降低。 另外，大壓力容易形成碎片。

4.旋轉速度：旋轉速度的增加會導致拋光速率的增加。 但是，如果轉速過高，則拋光液會不均勻地分布在拋光墊上均勻地影響拋光質量。

5.拋光液濃度：當拋光液濃度增加時，去除率也增加，但是當磨粒濃度超過一定值時，材料去除率將停止增加并保持恒定值。 這種現象稱為去除飽和。 濃度過高可能會導致表面缺陷（劃痕）增加，影響表面質量。